เครื่องเคลือบด้วยการสปัตเตอร์แมกนีตรอนสำหรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

การไหลของก๊าซที่สม่ำเสมอ และความสม่ำเสมอของฟิล์มที่ยอดเยี่ยม โครงสร้างภายในรูปโค้งทรงตัว "D" ช่วยลดพื้นที่ตายที่เป็นมุมฉาก ทำให้การไหลของก๊าซอาร์กอนและก๊าซที่ทำปฏิกิริยาเป็นไปอย่างราบรื่น

อัตราการสูบสูญญากาศสูง และปริมาณสิ่งปนเปื้อนที่ต่ำ การออกแบบห้องรูปโค้งช่วยลดความต้านทานการไหลของอากาศ และกำจัดพื้นที่ตายสำหรับปั๊มสุญญากาศโมเลกุล โดยมีการกำหนดค่าปั๊มที่เหมือนกัน

การใช้พื้นที่อย่างมีประสิทธิภาพ และรองรับสเปคของตัวอย่างที่หลากหลาย การออกแบบที่ผสมผสานระหว่างขอบเรียบและด้านโค้ง ช่วยให้สามารถรองรับแท่นใส่ตัวอย่างแบบแบน และรางใส่ตัวอย่างแนวตั้งได้

การตรวจสอบด้วยสายตาช่วยให้กระบวนการทดลองเป็นไปอย่างเข้าใจง่ายและสามารถควบคุมได้ ประตูข้างโค้งมาพร้อมกับหน้าต่างกระจกนิรภัยขนาดใหญ่สำหรับดูสภาพสุญญากาศ ซึ่งให้ทัศนวิสัยที่ชัดเจน ทำให้สามารถสังเกตการณ์ได้อย่างไม่ติดขัด